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Unser Co-Innovation-Projekt „Heimdall“, zusammen mit dem Smart Systems Hub, Globalfoundries Dresden, MMS und Carl Zeiss Digital Innovation, ist eines der aktuellen Predictive Maintenance-Lösungen von DELTEC electronics. Hierbei handelt es sich um die Entwicklung und Fertigung eines Acoustic Analysers. Dieser wird in der Halbleiterfertigung eingesetzt, um Fahrgeräusche der Wafer-Transportwagen aufzunehmen und auszuwerten. Ziel ist es, Störfaktoren durch defekte Transportwagen auf dem Transportweg frühzeitig zu erkennen und damit erheblich zu reduzieren.

Hintergrund ist, dass Globalfoundries Dresden die Wartung der Wafer-Transportwagen automatisieren will, um überraschende Ausfälle zu verhindern, um somit kostenintensive Turnus-Austauschaktionen sowie Fertigungsstillstand zu verhindern.

Konkret funktioniert dies wie folgt: Dem Acoustic Analyser ist ein Ultraschallsensor vorgeschaltet, welcher überwacht, ob ein Transportwagen angefahren kommt. Wenn dieser ein positives Signal erhält, wird der Acoustic Analyser aktiviert. Somit ist kein Dauerbetrieb des Analysers notwendig und es kann Energie eingespart werden. Der Acoustic Analyser nimmt nun die Fahrgeräusche der Transportwagen auf und leitet diese per WLAN an eine Auswertungsbasis weiter. Untypische beziehungsweise nicht passende Geräusche, die auf einen Verschleiß oder Fehlfunktionen der Transportwagen hindeuten, werden mittels eines Algorithmus herausgefiltert. Sobald eine Anomalie festgestellt wird, alarmiert das System die Mitarbeitenden und diese können schnellstmöglich den betreffenden Transportwagen begutachten und gegebenenfalls instandsetzen.

P.S.: Der Projektname wurde ausgewählt, weil der gleichnamige nordische Götterwächter ebenso vor allem Überwachungsarbeit leistet wie der Acoustic Analyser.

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